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德國B(niǎo)URKERT寶德/寶帝/寶得流量控制器
德國B(niǎo)URKERT寶德/寶帝/寶得流量控制器流體控制系統測量和控制:如果您與流體打交道,那么我們定會(huì )出現在您的身邊。我們是*產(chǎn)品的制造,能全面解 決您遇到的各種問(wèn)題,而且我們還是向您提出建議的伙伴。自1946年創(chuàng )建以來(lái),通過(guò)不斷努力 Bürkert已 成為流體控制系統的主要供應之。測量氣體流量的熱量法流量傳感器包括加熱元件和溫度傳感器,可以直接安裝在
德國B(niǎo)URKERT寶德/寶帝/寶得流量控制器
流體控制系統
測量和控制:如果您與流體打交道,那么我們定會(huì )出現在您的身邊。
我們是*產(chǎn)品的制造,能全面解 決您遇到的各種問(wèn)題,而且我們還是向您提出建議的伙伴。
自1946年創(chuàng )建以來(lái),通過(guò)不斷努力 Bürkert已 成為流體控制系統的主要供應之。
測量氣體流量的熱量法流量傳感器包括加熱元件和溫度傳感器,
可以直接安裝在氣體 通道中,也可安裝在氣體通道之外。加熱元件對流過(guò)的氣體進(jìn)行加熱,
然后由溫度傳感器檢測 其所散發(fā)的熱量。
德國B(niǎo)URKERT寶德/寶帝/寶得流量控制器
流量控制器的結構與功能:
8626、8710、8711、8712 和 8713 型流量控制器為體式設備,用于控制氣體的 流量。
所控制的是個(gè)預設置的流量參考值,而不考慮壓力波動(dòng)或瞬間出現的流動(dòng)阻力(如 由過(guò)濾器污垢所導致的)
等干擾變量。MFCs 包括以下幾個(gè)部分:流量傳感器、電子線(xiàn)路(具有 信號處理、調節和控制閥門(mén)等功能)
和比例電磁閥。通過(guò)模擬信號或現場(chǎng)總線(xiàn)設置參考值,在控 制器中將傳感器測得的實(shí)際值與參考值進(jìn)行比較。
控制器根據控制偏差輸出個(gè)脈寬調制的電壓 信號(修正變量)來(lái)控制比例電磁閥,并使該修正變量隨控制
偏差的變化而不斷變化。實(shí)際值也 通過(guò)模擬信號或現場(chǎng)總線(xiàn)傳送,以便用戶(hù)對氣體的流量進(jìn)行控制和分析。
流量控制器具 有結構緊湊、安裝簡(jiǎn)單的特點(diǎn),確保整個(gè)(閉環(huán))控制回路的操作方便。沒(méi)有額外的工作量或
費 用:如各部件之間的接線(xiàn)與協(xié)調、考慮管道長(cháng)度(入口/出口直管段)等。
式傳感器 8626/8006 型
該式傳感器為 CTA(恒溫風(fēng)速計) 工作原理:控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間
保持個(gè)恒定的溫差。這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內;另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。
這 五個(gè)電阻連接成個(gè)測量電橋。氣體通道中的個(gè)電阻 (RT) 測量介質(zhì)溫度,另個(gè)低阻值電阻
(RS) 不斷被加熱,使其與介質(zhì)溫度(由 RT 測得)之間始終保持個(gè)恒定的溫差。所需的加熱電
流即用于測量流過(guò)該氣體通道的氣體流量。MFC 中合適的流量調節確保其所測得的流量非常 。
由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內,所以當設定值或實(shí)際值變化時(shí),該傳感 器的響應時(shí)間短,
只有幾百毫秒。此外,該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。
CMOS 傳感器 8711/8701、8712/8702、8713/8703 型
與在主管道中進(jìn)行測量的式傳感器不同,CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測量的。
主 管道中的層流元件產(chǎn)生個(gè)必需的壓差,使小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜
的硅芯片,用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù),在這塊膜上有個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對稱(chēng)的 溫度傳感器
(分別位于上游和下游)。如使加熱電阻保持在個(gè)恒定溫度,則兩個(gè)溫度傳感器的 電壓差即可用于測量
旁路通道內流過(guò)芯片的氣體的流量。 該溫度傳感器的熱量低、與介質(zhì)直 接接觸,因此具有許多特定的,
其中之就是對于流量變化的響應快。帶 CMOS 傳感器 的 MFC 具有100 ms 的響應時(shí)間,且靈敏度高,
即使流量很小時(shí)也是如此。
參數設置
– 設置控制功能
– 選擇設定值和實(shí)際測量值的標準信號
– 設置設定值曲線(xiàn)
– 對于標定為兩種氣體的 MFM/MFC:選擇工作氣體
– 設置二進(jìn)制輸入的功能:
· 切換氣體 · 啟動(dòng)自動(dòng)優(yōu)化程序(Autotune)
· 累加器復位或限值開(kāi)關(guān)
· 設置安全位置 · 控制操作(設定值直接控制閥門(mén))
· 打開(kāi)閥門(mén),如用于吹洗過(guò)程
· 其它 – 設置二進(jìn)制輸出的功能:
· 故障信號 · 控制輸出,如用于關(guān)斷閥
· 限值反饋(流量、累加器)
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